面前仅有十八岁的杨玄,仿佛为他们打开了新世界的大门,感受极为震撼。
“诸位前辈,euv的技术,目前,在全球也只是刚刚立项,我们现在追赶还来得及。”
杨玄简单讲完之后,郑重道:“但考虑到现实问题,我的个人意见,是科学院如果有意愿,可以成立两个研发团队。”
“第一个研发团队,着手放下,从duv光刻技术开始……”
“第二个研发团队,放眼未来,角逐世界,做好euv的扎实理论,然后全力攻克光源技术。”
“目前,真正把控世界光刻机光源技术的,只有两家公司……”
“一个是米国的Cyme,另一个则是倭国的小松。前者是为何兰阿麦斯光刻机公司提供光源技术支持,后者是为尼康和佳能提供技术支持……”
“以这两家公司,所采用的光源技术路线,全是激光等离子体……”
“在一个真空腔体中,有强大的二氧化碳激光,通过腔体,照射一束每秒被发射出几万滴的超纯锡液滴。”
“当激光脉冲照射到锡液滴时,液滴会被加热成等离子体并产生EUV射线,反射镜收集器将该过程产生的光线反射到光刻机中。”
“同样,以两家公司,也将是目前世界,准分子激光器光源的两大制造商。”
长达一个多小时的讲解说完,杨玄已经口干舌燥了。
末了。
吴德欣老教授率先起身,带头鼓掌。
紧跟着,整个教室内,百名师生纷纷起立,注视着杨玄,经久不息的掌声跟着传来。
讲台,杨玄谦虚的双手合十,连连称谢。
“开眼了,真的是开眼了。”
吴德欣教授主动走去,握着杨玄的手道:“小伙子,duv光刻技术,目前对我们国家都是极大的难题。”
“你现在让我们领教到了euv的未来,对于国家而言,你功不可没。”
“吴老!您言重了。”
杨玄哭笑不得的连连摇头:“我只是懂一些皮毛,你们才是真正为国家冲锋陷阵的。”
“小伙子,这样你看行不行?”
吴德欣教授依旧拉着杨玄的手道:“不管是极深紫外线,还是深紫外线,科学院会决定成立研发团队。”
“按照你刚才说的,一个着手当下,一个放眼未来。”
“我呢……代表科学院,也向你发出邀请。”
“你能不能留下?选其中一个团队,带领大家,把其中一向技术给拿下来。”
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